冷凝泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵。冷凝泵是一種低極限壓力、高抽速的真空泵，以獲得潔凈的真空。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀、離子注入機(jī)和空間模擬器。由于其清潔無污染、高效率、高抽速、高可靠性等突出優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于科研實(shí)驗(yàn)室乃至工業(yè)生產(chǎn)等諸多領(lǐng)域，如半導(dǎo)體材料制造、平板顯示生產(chǎn)/測試設(shè)備、太陽能制造、真空鍍膜、熱真空系統(tǒng)等。

　　冷凝泵運(yùn)行時振動過大、噪音大的原因：

　　1.發(fā)生氣穴現(xiàn)象。空化過程中會產(chǎn)生氣泡和氣泡破裂，從而引起振動和噪聲。如果振動是由泵汽蝕引起的，則需要考慮改變安裝高度或增加系統(tǒng)壓力。此外，選擇合適類型的泵非常重要。

　　2.冷凝泵轉(zhuǎn)子平衡降低。當(dāng)轉(zhuǎn)子不平衡時，轉(zhuǎn)子中心與旋轉(zhuǎn)的新偏差過大，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時會產(chǎn)生不平衡力，特別是轉(zhuǎn)速高時，振動會更明顯。一方面可能是制造或裝配，轉(zhuǎn)子平衡不符合設(shè)計(jì)要求;另一方面，可能是泵運(yùn)行一定時間后，由于某些原因，如軸受力變形、零件偏心磨損過大等，導(dǎo)致轉(zhuǎn)子的平衡精度下降。在這兩種情況下，都需要重新平衡轉(zhuǎn)子。

　　3.冷凝泵在非設(shè)計(jì)工況區(qū)運(yùn)行。盡量使泵在額定流量揚(yáng)程附近運(yùn)行，盡量避免低流量高流量運(yùn)行，否則水力沖擊增大會引起振動。當(dāng)水流從葉輪葉片的外端經(jīng)過導(dǎo)葉或冷凝泵的舌部時，會產(chǎn)生水力沖擊，雖然沖擊的程度隨著泵的轉(zhuǎn)速和尺寸的增大而增大，但當(dāng)這種水力脈沖船舶管路系統(tǒng)為基礎(chǔ)時，會產(chǎn)生噪聲和振動。如果這種水中脈沖的頻率接近泵軸、管道系統(tǒng)或基礎(chǔ)的固有頻率，就會產(chǎn)生更嚴(yán)重的共振。

　　4.軸承損壞或不匹配。如果軸承損壞，除了本身的運(yùn)行噪聲外，還會使轉(zhuǎn)子的運(yùn)動失去穩(wěn)定性，從而使泵機(jī)組的振動和噪聲增大。此外，軸承的徑向間隙過大也會產(chǎn)生噪音。更換冷凝泵軸承可以解決問題。

　　5.安裝問題。比如冷凝泵與底座、底座與基礎(chǔ)之間有松動，電機(jī)與泵的聯(lián)軸器同軸度低，就可能產(chǎn)生振動和噪音，需要重新擰緊連接螺栓或重新校準(zhǔn)。

　　以上就是關(guān)于冷凝泵的一些知識點(diǎn)，希望大家可以認(rèn)真學(xué)習(xí)了解相關(guān)知識。